附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的工艺研究

• 作者: 吴修娟 王道林 胡孝昀 王赛甫
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微细工具电极 电化学刻蚀 附加液膜 制备工艺
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 制造技术/工艺装备
• 页码范围: 88-92
• 页数: 5页
• 分类号: TG662
• 语种: 中文
• DOI: 10.16731/j.cnki.1671-3133.2020.12.014

摘要

为提高微细工具电极的微细程度,提出一种附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的新方法,进行相关工艺试验研究.对比试验结果表明,附加液膜电化学刻蚀法制备的工具电极尖端半径均比传统液膜电化学刻蚀法制备的半径小;附加液膜类型对工具电极尖端半径影响试验结果表明,(胶水)附加液膜制备的工具电极尖端半径尺寸和电极锥度最小,其次为(植物油)附加液膜,最大为(去离子水)附加液膜;而初始半径为250 μm的钨棒在附加液膜(胶水)试验中出现特例,这是由于刻蚀时间过长胶水固化而引起的工具电极尖端过腐蚀所导致.