氧化硅光波导侧壁角测量精度的提高

• 作者: 尚鸿鹏 孙德贵 李天成 于汀 曾春红 姜会林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 关键词: 光学测量 氧化硅波导 光学成像显微镜 沉积后波导芯层 侧壁角度
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学|Modern Applied Optics
• 页码范围: 2588-2595
• 页数: 8页
• 分类号: TN256|O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/OPE.20202812.2588

摘要

氧化硅波导芯层的侧壁粗糙度和角度是导致器件产生光损耗的主要原因之一.为精确测量沉积包层后氧化硅波导芯层侧壁角,研究了一种利用光学成像显微镜测量波导侧壁角度的方法,并详细分析了引起测量误差的显微物镜放大倍数与成像特征之间的关系.根据理论分析对波导侧壁角度的测量值进行了校正,获得的实验结果与激光共聚焦测量结果相一致.利用该测量方法对10组已沉积包层波导芯层侧壁角度进行了测量并与未沉积包层时激光共聚焦的测量结果进行对比,得出测量精度在±1°以内.该方法为沉积包层后氧化硅波导器件芯层侧壁角度测量提供了一种精确可行的方案.