声表面波谐振器设计与仿真

• 作者: 李良秋 董志贵
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 谐振器 Cu电极 ScAlN薄膜
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 信息:技术与应用
• 页码范围: 161-162
• 页数: 2页
• 分类号: TN70
• 字数: 816字
• 语种: 中文

摘要

综合声表面波谐振器设计的研究方法与思路,给出体声波和声表面波的划分方法,介绍了声表面波的机电耦合系数、压电薄膜基片的厚度与波长对声表面波性能的影响关系式,仿真了Cu电极ScAlN薄膜基片谐振器机电耦合系数与薄膜厚度的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董志贵	辽宁科技学院创新创业学院	4	0	0.0	0.0
2	李良秋		2	0	0.0	0.0