ZnO/SiO2复合薄膜的制备及其阻隔性能研究

• 作者: 卢加永 王超楠 罗胜耘 鲁听
• 来源期刊: 包装工程
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控溅射 ZnO/SiO2复合薄膜 透氧率 透水率
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 新材料技术
• 页码范围: 107-112
• 页数: 6页
• 分类号: TB487|TB43
• 字数: 4112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19554/j.cnki.1001-3563.2020.07.014

摘要

目的 为了进一步提高氧化锌(ZnO)沉积复合薄膜对氧气的阻隔能力,探索其应用于食品和药品包装材料的可行性.方法 采用射频磁控溅射技术(RF),以ZnO和二氧化硅(SiO2)为靶材,在PET塑料表面同时沉积,制备ZnO/SiO2复合薄膜包装材料,并详细分析SiO2的引入对ZnO沉积膜微观结构和阻隔能力的影响,优化ZnO/SiO2的制备工艺.结果 SiO2的引入,使ZnO纳米颗粒的形状由片状燕麦变成了球形,当功率密度比Psio2/Pzno为0.67,氩气流量为20 mL/min,沉积时间为20 min,工作气压为0.5 Pa时,ZnO/SiO2复合薄膜的氧气透过率降低为0.462 mL/(m2·d),水蒸气透过率有所增加,为0.367 g/(m2·d).结论 引入合适比例的SiO2,可有效提升ZnO沉积层对氧气渗入的阻隔能力,但SiO2引入量过高时,会加剧纳米裂纹,对复合薄膜的阻隔能力不利.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王超楠	贵州民族大学材料科学与工程学院	4	0	0.0	0.0
2	罗胜耘	贵州民族大学材料科学与工程学院	14	43	4.0	6.0
3	卢加永	贵州民族大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
4	鲁听		3	0	0.0	0.0