微机电系统集成设计方法与实现技术分析

• 作者: 范方贵
• 来源期刊: 通信电源技术
• 关键词: 微机电系统 集成设计 关键技术
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 设计应用
• 页码范围: 151-152
• 页数: 2页
• 字数: 2827字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19399/j.cnki.tpt.2020.03.067

摘要

微机电系统是一个独立的智能系统,以微电子技术为基础,融合了光刻、腐蚀、硅微加工等技术.目前,在微电系统设计中还存在多学科交叉问题以及设计周期较长的问题,影响了微机电系统的设计效率.笔者阐述了微机电系统的研究背景,并介绍了微机电系统的相关内容,总结了微机电系统设计过程中的关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范方贵		1	0	0.0	0.0