一种基于PCB工艺的平面绝对式角位移传感器研究

• 作者: 景欢 汤其富 王阳阳 刘洋
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 角位移 传感器 电磁感应 绝对式 PCB
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-5,10
• 页数: 6页
• 分类号: TH712
• 语种: 中文

摘要

文中研究的平面绝对式角位移传感器采用PCB工艺制造定子和转子.定子PCB包含正弦形平面激励线圈和环形感应线圈,转子PCB包含改变激励线圈和感应线圈耦合系数的铜箔阵列.传感器共有2个传感通道,2个通道的重复结构周期数相差为1,共同实现绝对角位移测量.文中对该传感器进行了有限元仿真,验证了其原理可行性.样机实验表明,在0°～360°范围内传感器的原始测量误差为-104.2″～28.8″.这种基于PCB工艺的平面绝对式角位移传感器,具有结构简单、厚度小的特点,非常适合机器人关节臂等对传感器体积要求苛刻的工作场合.