基于双层微结构电极的柔性电容式压力传感器

• 作者: 张鹏 陈昱丞 张建 李玉霞
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性压力传感器 电容式传感器 微结构电极 金字塔阵列 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 11-13,17
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

为了研究电容式传感器电极表面有微结构对自身灵敏度的影响,设计了一种基于双层微结构电极的电容式压力传感器,其以表面溅射有导电金属的带有金字塔微结构的P DMS薄膜作为上下层电极.该方法设计的传感器能够明显地提高传感器的性能,灵敏度可达0.34 kPa-1,是无微结构电极传感器灵敏度的17倍,具有低的检测极限(最低为20 Pa)、较快的响应时间(200 ms)和可靠的重复性.实验表明,该传感器能够实时快速地的检测外部压力的变化.