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摘要:
通过PTA产品应用的广泛说明了其重要性,又通过图文的方式详细地介绍了生产PTA的工艺流程.
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工艺流程
特点
应用现状
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外延生长
GaN薄膜
实时监控
光电隔离
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 PTA装置和工艺流程
来源期刊 化工设计通讯 学科 工学
关键词 PTA装置 工艺 氧化
年,卷(期) 2020,(2) 所属期刊栏目 工艺与设备
研究方向 页码范围 82-83
页数 2页 分类号 TM76
字数 3555字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-6490.2020.02.057
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李明 2 0 0.0 0.0
2 马强 2 0 0.0 0.0
传播情况
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2020(0)
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研究主题发展历程
节点文献
PTA装置
工艺
氧化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
化工设计通讯
月刊
1003-6490
43-1108/TQ
大16开
长沙市韶山中路398号
42-52
1975
chi
出版文献量(篇)
13159
总下载数(次)
65
总被引数(次)
14729
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