激光刻划功率对CIGS光伏电池激光划线位置透光的影响

• 作者: 单荣莉 唐志虎 徐会杰 王宠 郭永刚
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: P1划线 透光 CIGS
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与论著
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TM91
• 字数: 2255字
• 语种: 中文

摘要

本文采用直接磁控溅射在普通钠钙玻璃衬底制备SiO2阻挡层、Mo背电极、CIGS吸收层、ZOS缓冲层、ZnO窗口层和AZO前电极,其中CIGS为四元陶瓷靶材,SiO2阻挡层、Mo背电极厚度分别为50nm和800nm,硒化退火采用H2S e为硒源,研究P1划刻功率对电池透光的影响,并分析了其对电池性能的影响.研究表明,当P1激光器波长为1064nm,频率为65KHz,划线速度为2000mm/s时,P1划线对SiO2阻挡层的损伤是影响硒化法制备CIGS光伏太阳能电池划线位置透光的重要影响因素,P1划刻功率是重要影响参数.当P1划刻功率为1.4W时,P1划线未对S i O2阻挡层造成损伤,划线位置不透光,电池电流密度最大,且填充因子和转化效率最高.当P1划刻功率增大时,在划开M o的同时,对S i O2阻挡层造成损伤,微观表现为斑点,且功率越大,斑点密度越大,透光表现为点透光到线透光.同时,由于透光造成电池有效面积减少,导致电池电流密度降低,并最终影响填充因子和转化效率的降低.但进一步降低P1划刻功率,易造成划线光斑减小,划线位置出现毛刺,存在不能将背电极Mo划开的风险,导致电池电流密度和开压降低,并导致填充因子和转化效率的降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐志虎		4	1	1.0	1.0
2	王宠		4	0	0.0	0.0
3	徐会杰		3	0	0.0	0.0
4	单荣莉		2	0	0.0	0.0
5	郭永刚		2	0	0.0	0.0