MEMS微机械结构受冲击力学分析

• 作者: 傅成城 王怡豪 王长鑫 高成 黄姣英
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 折叠梁 刚度 阻尼 冲击 运动方程
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 9-12,15
• 页数: 5页
• 分类号: O313.4|TN403|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)09-0009-04

摘要

对微机电系统(MEMS)加速度传感器ADXL203的微机械结构建立三维模型,使用卡式定理与线性弹性理论推导折叠梁X,Y,Z方向刚度,并利用ANSYS有限元仿真验证了刚度计算结果.求解结构阻尼系数,由阻尼受迫振动模型入手,采用准静态理论或振动理论,分析微机械结构在冲击脉冲下的响应规律,推导出在半正弦波冲击条件下,微机械结构的运动方程.计算得到微机械结构在X,Y方向最大位移为0.883,0.8786 mm,分别在冲击发生后的0.141,0.142 ms时.提出了微机械结构刚度、阻尼、运动方程的求解方法,便于分析其失效机理,指导MEMS冲击试验的进行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄姣英		41	128	6.0	10.0
2	高成		42	195	8.0	13.0
3	王怡豪		5	1	1.0	1.0
4	傅成城		3	0	0.0	0.0
5	王长鑫		3	1	1.0	1.0