面向微显示的小电流655 nm Micro-RCLED

• 作者: 周晓倩 文振宇 曹红康 李建军 杨启伟 邓军 邹德恕
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 物理光学 发光 谐振腔 AlAs横向氧化 微型发光二极管 红光发光二极管
• 年，卷（期）: 2020,（15）
• 所属期刊栏目: 物理光学
• 页码范围: 170-175
• 页数: 6页
• 分类号: TN29
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.1526002

摘要

针对微显示对高外量子效率、低工作电流和稳定光谱波长的红光LED的需求,提出了一种将共振腔发光二极管与AlAs侧向氧化技术相结合的Micro-RCLED.该器件利用共振腔改变有源区自发辐射场的空间分布,将更多的光分布在光提取角之内以提高光提取效率,而且共振腔还有利于输出光谱波长的稳定.AlAs氧化孔对电流的横向限制既有利于降低侧壁的Shockley-Read-Hall非辐射复合,又可减少漏电,从而提高辐射复合效率.另外,P电极出光孔的直径大于AlAs氧化电流注入孔的直径,因此,金属P电极对出射光的吸收可以有效避免.同时,制作了3个并联的655 nm Micro-RCLED,每个单元的出光孔径为17 μm.IdV/dI-I曲线的拟合结果表明,120 Ω的串联电阻器件在1 mA时的输出光功率为0.21 mW,外部量子效率大于10％,并且可以在低于1μA的注入电流下点亮单个单元.另外,当工作电流密度变化12.5倍时,峰值波长仅增加1.5 nm,光谱的半峰全宽仅增加0.33 nm.这使得RCLED作为单色光源在Micro-LED中的应用成为可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓军		57	219	7.0	10.0
2	李建军		52	234	7.0	12.0
3	邹德恕		58	270	10.0	12.0
4	曹红康		2	0	0.0	0.0
5	文振宇		2	0	0.0	0.0
6	周晓倩		1	0	0.0	0.0
7	杨启伟		1	0	0.0	0.0