无掩模定域性电沉积三维微结构的仿真研究

• 作者: 佐姗姗 吴建辉 吴蒙华 钱宁开
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 定域性电沉积 无掩模 多物理场仿真 三维微结构
• 年，卷（期）: 2020,（z1）
• 所属期刊栏目: 金属与金属基复合材料
• 页码范围: 427-432
• 页数: 6页
• 分类号: TQ153.4+3
• 字数: 2593字
• 语种: 中文

摘要

为研究基于喷射状态的无掩模定域性电沉积的最佳工艺参数,采用COMSOL Multiphysics仿真软件和实验研究无掩模定域性电沉积三维微结构过程中电流密度、极间距、脉冲占空比对沉积部件表面形貌和沉积速率的影响.结果表明,电流密度对沉积部件形貌、晶粒尺寸、内部气孔和沉积速率有很大影响,当电流密度超过4.5 A/dm2,表面形貌和气孔急剧变差;占空比越小,定域性越好,沉积的圆柱直径越小,极间距为5μm时,可得到均匀的沉积层.通过正交实验优化得到的工艺参数为:电流密度3.5 A/dm2,极间距5μm,占空比10％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴蒙华	大连大学机械工程学院	83	556	13.0	18.0
2	佐姗姗	大连大学机械工程学院	2	1	1.0	1.0
3	钱宁开	大连大学机械工程学院	2	0	0.0	0.0
4	吴建辉	大连大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0