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摘要:
自主研制出了可用于超高温晶体生长炉温场的高纯钇锆固溶体陶瓷制品,在真空、保护气氛、空气环境使用温度达到2 650℃,反复升降温周期使用寿命达到3年,较金属温场提升6倍寿命.以使用该陶瓷制备的温场生长120 kg级晶体为例,其晶体生长周期较金属钨钼温场缩短约25%,节省能耗40%以上,同时还可避免金属材料高温时出现的过收缩、破裂等问题,提高了安全性和生产效率,并且实现了材料的绿色环保和循环利用.
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三温区晶体生长炉热场设计探讨
热场
三温区
控温精度
炉温均匀度
晶体炉
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用于超高温晶体生长炉的钇锆固溶体陶瓷
来源期刊 硅酸盐通报 学科 工学
关键词 蓝宝石 泡生法 钇锆固溶体陶瓷 温场
年,卷(期) 2020,(9) 所属期刊栏目 产品研发快报
研究方向 页码范围 3040-3042
页数 3页 分类号 TQ174
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
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蓝宝石
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钇锆固溶体陶瓷
温场
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硅酸盐通报
月刊
1001-1625
11-5440/TQ
16开
北京市朝阳区东坝红松园1号中材人工晶体研究院733信箱
80-774
1980
chi
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8598
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