正负性显影液显影机制简介

• 作者: 吴萍 郭景
• 来源期刊: 电子世界
• 年，卷（期）: 2020,（19）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 150-151
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

在TFT液晶显示器、Color Filter彩色滤光片和集成电路等的制作工艺中,为获得所需的精细pattern图形,需要使用光刻胶这样的感光材料,先以涂布的方式在玻璃基板或基材上形成一定厚度的薄膜,再经掩膜版曝光后,使用显影液进行显影,去除不需要的光刻胶薄膜部分,最终获取需要的图形.显影工艺通常有三种主要方法:浸入式、喷淋式和搅动式显影,目前在TFT液晶显示器、Color Filter彩色滤光片的生产工厂线上基本都是使用的喷淋式显影设备,通过控制设备运转速度达到控制显影的时间长短,在显影段完成后经过再过水洗制程,将残余显影液彻底冲洗,保证产品显影品质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭景		3	0	0.0	0.0
2	吴萍		4	0	0.0	0.0