飞秒激光辐照连接金属氧化物纳米线及电性能调控

• 作者: 孙天鸣 肖宇 霍金鹏 沈道智 王文先 邹贵生
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光制造 飞秒激光 异质结构 纳米连接 微纳器件
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 课题一 基于激光制造的跨尺度和多材料纳连接的共性基础问题|Task 1 General Fundamental Problems of Trans-Scale and Multi-Materials Nanojoining Based on Laser Fabrication
• 页码范围: 68-76
• 页数: 9页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0802006

摘要

采用干法转移方法制备Au电极-CuO/ZnO纳米线异质结构,通过飞秒激光辐照,基于表面等离子激元的能量局域化输入实现了异质结构的纳米连接,改善了异质结构界面的接触状态,促进了载流子传输通道的导通.辐照前后的电学测试结果表明,激光处理后p型和n型纳米线场效应管的背栅调控性能有明显提升.当栅极电压达到±20 V后,二者的电流有明显的夹止趋势.此外,基于CuO和ZnO纳米线的p型和n型场效应管特性,制备了一种p CuO/n-ZnO纳米线半导体倒相器.结果 表明,激光辐照后的倒相器具有稳定的电压调控能力,为自下而上的微纳电子器件组装提供了新思路.