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摘要:
为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究.得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布变化,并分析了这些因素对抽速的影响.在搭建的实验平台上对微型溅射离子泵进行了抽速测量,得到了不同工作电压下抽速随压力变化的曲线,并与理论抽速相对比,模拟结果、实验数据与理论抽速有较好的一致性.对溅射离子泵的设计与改进具有参考价值.
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文献信息
篇名 微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究
来源期刊 真空与低温 学科 工学
关键词 微型溅射离子泵 放电模拟 极小抽速 抽气特性
年,卷(期) 2021,(1) 所属期刊栏目 真空技术
研究方向 页码范围 45-51
页数 7页 分类号 TB75
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1006-7086.2021.01.006
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研究主题发展历程
节点文献
微型溅射离子泵
放电模拟
极小抽速
抽气特性
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空与低温
双月刊
1006-7086
62-1125/O4
大16开
甘肃省兰州市94信箱
1981
chi
出版文献量(篇)
1321
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1
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