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微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究
微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究
作者:
耿健
郭美如
王晓冬
张世伟
成永军
孙雯君
黄海龙
李海涛
任正宜
吴成耀
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微型溅射离子泵
放电模拟
极小抽速
抽气特性
摘要:
为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究.得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布变化,并分析了这些因素对抽速的影响.在搭建的实验平台上对微型溅射离子泵进行了抽速测量,得到了不同工作电压下抽速随压力变化的曲线,并与理论抽速相对比,模拟结果、实验数据与理论抽速有较好的一致性.对溅射离子泵的设计与改进具有参考价值.
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气力提升
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放电毛细管等离子体模拟研究
放电毛细管
等离子体
数值模拟
内容分析
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文献信息
篇名
微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究
来源期刊
真空与低温
学科
工学
关键词
微型溅射离子泵
放电模拟
极小抽速
抽气特性
年,卷(期)
2021,(1)
所属期刊栏目
真空技术
研究方向
页码范围
45-51
页数
7页
分类号
TB75
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1006-7086.2021.01.006
五维指标
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放电模拟
极小抽速
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研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
真空与低温
主办单位:
中国航天科技集团公司第五研究院510研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1006-7086
CN:
62-1125/O4
开本:
大16开
出版地:
甘肃省兰州市94信箱
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
1321
总下载数(次)
1
总被引数(次)
6360
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