基于单稳频激光的端面距离微尺寸测量方法

• 作者: 刘育彰 高宏堂 程银宝 王中宇
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微尺寸测量 单稳频激光 端面距离 干涉条纹法 小数重合法 图像处理
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 页码范围: 144-149
• 页数: 6页
• 分类号: TB921
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2021.02.03

摘要

搭建了一种用于端面距离微尺寸测量的干涉光路,分别以频率高度稳定的532 nm波长激光和波长不确定度水平相对较差的633 nm波长激光作为光源进行照射以获取干涉图样.使用电荷耦合器件(CCD)传感器获取干涉图样,采用数字图像处理手段清晰化干涉图样,并利用条纹的像素距离计算干涉条纹级次差的小数部分,用多波长的小数重合法计算端面间距.通过系统的软件部分,利用数字图像处理的手段对干涉图像的质量进行优化,在较为简单的实验条件下实现精度较高的端面距离微尺寸测量.