低温微磨料气射流加工微流道专用机床

• 作者: 钱炳坤 孙玉利 张桂冠 刘旭 高航 左敦稳
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 关键词: 低温微磨料气射流加工 专用机床 冷却器 自动控温 聚二甲基硅氧烷
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 页码范围: 93-100
• 页数: 8页
• 分类号: TH16
• 语种: 中文
• DOI: 10.16356/j.1005-2615.2021.01.010

摘要

针对目前低温微磨料气射流加工用简易实验装置中存在的问题,研制了低温微磨料气射流加工微流道专用机床.该机床主要由微磨料气射流发生部分、冷却部分、加工部分、磨料回收部分及其控制系统部分组成.首先对机床进行整体设计,保证其具有合理的布局和稳定的结构;其次针对机床的核心部件冷却器进行总体设计、理论计算与仿真分析,并开展测温实验验证设计的合理性,使用PLC控制器和液氮液位监测仪实现冷却器的自动控温;最后设计了四维移动平台,并通过人机交互界面对其进行编程控制.验证实验表明,该机床在低温下可实现对聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)材料的有效冲蚀去除,且加工效果明显好于常温下的加工效果,能够满足微流控芯片的多元化应用需求.