晶硅磨床关键零部件仿真分析与拓扑优化

• 作者: 杨勇 崔陈晨 解培玉 段景波
• 来源期刊: 精密制造与自动化
• 关键词: 晶硅磨床 关键零部件 有限元分析 拓扑优化
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 7-10,21
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

在光伏行业中,为了去除硅棒加工过程的缺陷,减小废片率,需要在开方后、切片前对硅棒进行磨削加工.而硅棒加工质量的高低和磨削稳定性的关键在于磨床各零部件的机械结构性能的高低,对磨床的几个关键零件进行有限元仿真分析和拓扑优化,使零件在减重的同时提高强度.设计时综合考虑,可将两个尺寸关联的加工面用刚度较高的结构相连接,无关的面用弱连接相连,以减轻重量.