空间整形飞秒激光加工金属微细槽实验研究

• 作者: 梁密生 李欣 王猛猛 原永玖 陈孝喆 许晨阳 左佩
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光技术 飞秒激光 空间整形 金属 微细槽
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 课题二 超快激光时空频调控微纳制造机理及方法|Task 2 Methodology and Mechanism of Time/Space/Frequency Domain Shaped Ultra-fast Laser Micro-nano Fabrication
• 页码范围: 21-31
• 页数: 11页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0202003

摘要

金属微细槽在电子、通信、航空航天、生物医学等领域有着广泛的应用.超快激光加工在100μm及以下尺寸的微细槽加工中具有较大的潜力.为了提高金属微细槽的加工精度和加工质量,减小槽壁斜度,采用空间整形飞秒激光加工的方法,应用空间光调制器将高斯光整形为矩形平顶光,在高温合金上进行微细槽加工实验.结果表明,空间整形飞秒激光加工微细槽的槽壁斜度相较于高斯光束的加工结果明显减小,加工质量明显提高.此外,采用该方法分别加工了宽度为10,20,150μm的深槽,结果显示,深槽槽壁截面未出现明显的热影响区域,说明该方法具有卓越的加工能力和极大的应用潜力.