高动态位移ScAlN基超声换能器的设计及制作

• 作者: 彭火祥 苗斌 徐瞻 刁莉娜 程晋荣 李加东 赵祥永 张巧珍
• 来源期刊: 压电与声光
• 关键词: ScAlN薄膜 动态位移 新型pMUT结构
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 页码范围: 183-186,191
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TB552
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2021.02.007

摘要

超声探测作为重要的感知技术,其探测性能一直是学术界研究的热点.针对薄膜超声换能器谐振位移低,导致输出声压较低,从而影响探测性能的问题,该文提出了一种高动态位移的薄膜ScAlN基超声换能器结构,该结构直径为?360μm,中心处膜层由4根悬梁支柱固支,通过微机电系统(MEMS)微纳加工技术制作了换能器阵列.测试结果表明,该器件谐振频率下,中心处动态位移可达2.16μm/V.此外,该结构使膜层振动模态转变为输出声压更高的活塞型模态,相关工作为空气介质中长距离超声测距传感器的研究奠定了基础.