基于VO2热相变的光子晶体波导开关

• 作者: 刘海 邵齐元 张砚曾 赵嘉 陈聪 白冰冰
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 关键词: 光学开关设备 光子晶体 热光效应 波导
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 光电子学工程与应用|Optoelectronic Engineering and Applications
• 页码范围: 267-271,293
• 页数: 6页
• 分类号: TN25
• 语种: 中文
• DOI: 10.12178/1001-0548.2019288

摘要

基于相变材料VO2,设计了一款光子晶体波导结构的光开关.通过在硅波导中填充SU-8包层对温度灵敏度做补偿,降低了波导开关的温度敏感特性.采用热驱动开关实现了1591 nm波长处约9.5 dB的消光比.同时提出一种新型级联波导来优化开关结构,实现了27.46 dB的消光比.