PDMS基光子器件的耦合光栅与波导研究

• 作者: 刘启发 张琳 赵子岳 胡金高娃 宾璟橦 成谢锋
• 来源期刊: 南京邮电大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: PDMS 单模波导 耦合光栅 布拉格条件 柔性光子器件
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 通信与电子|Communication and Electronics
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.14132/j.cnki.1673-5439.2021.06.003

摘要

基于柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)的优异特性,面向紫外和可见光波段进行光子器件基础研究和设计.通过单模波导以消除模间传输损耗,基于布拉格条件的数值解析和有限元仿真优化设计耦合光栅结构,实现了光栅刻蚀比为0.9、周期为570 nm的峰值损耗为6 dB的单模波导集成型耦合光栅.结果 表明,基于PDMS的芯片光子结构可以实现低损耗波导传输和高效波导光子获取.该工作为PDMS基柔性芯片光子集成器件奠定了理论和设计基础.