半导体行业磷酸废液提纯处理方案对比分析

• 作者: 李朋
• 来源期刊: 再生资源与循环经济
• 关键词: 磷酸废液 TMF管式微滤膜 蒸发器系统 离子交换
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 再生利用|RECYCLING
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: X703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0912.2021.05.012

摘要

随着我国半导体行业的快速发展,半导体制程过程中产生大量含杂质磷酸废液.综合对比分析了4种含杂质磷酸废液的提纯处理技术方案.涉及到的技术单元系统包括化学反应处理系统、TMF管式微滤膜系统、蒸发器系统、阴阳离子树脂交换系统.采用各工艺组合处理的方法,对4种系统进行分析对比.为后续磷酸废液提纯处理生产技术提供参考.