一种洛伦兹力微机械谐振磁传感器建模及数值仿真

• 作者: 刘恒 张玉 舒进华 杨添熠
• 来源期刊: 传感技术学报
• 关键词: 磁传感器 锁相环 稳态平衡点 平均周期法
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理|Signal Processing for Sensors
• 页码范围: 756-762
• 页数: 7页
• 分类号: TN911.71
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2021.06.007

摘要

针对微机械洛伦兹力谐振磁传感器灵敏度受驱动控制电路和谐振频率漂移影响问题,利用平均周期法分析了鉴相器为异或门的锁相环频率跟踪电路的动力学模型,并求解出频率跟踪的稳定条件和稳态振幅平衡点.设计的磁传感器数值建模及仿真实验表明:当锁相环积分器系数小于临界值时,环路频率跟踪稳定;当锁相环积分器系数大于临界值时,频率跟踪振荡;稳态振幅与理论分析一致,灵敏度与接口电路无关;频率跟踪动态过程与压控振荡器初始频率ω0、积分系数kI、滤波器时间常数ξ有关.