彩色光谱共焦传感器误差溯源及其校准方法分析

• 作者: 闫勇刚 刘志浩 朱小平 杜华 李加福 王耿
• 来源期刊: 河南理工大学学报（自然科学版）
• 关键词: 计量学 光谱共焦位移传感器 校准 非接触测量 误差分析
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 电气·电子·自动化
• 页码范围: 117-123
• 页数: 7页
• 分类号: TB921
• 语种: 中文

摘要

针对国内光谱共焦传感器校准方法不统一、计量特性难以比较等问题,提出3种基于精密标准器的光谱共焦传感器校准方法,并基于此开展校准和计量特性评定.分别采用精密位移台、高精度测长仪与激光干涉仪3种标准器对光谱共焦传感器的基本误差、线性度、重复性、回程误差等参数进行校准,3种方法所测某种光谱共焦传感器的最大误差分别为2.76,3.40,1.17μm,线性度分别为0.689％,0.850％,0.293％,重复性分别为1.463,1.324,0.787μm,回程(迟滞)误差为0.51μm.校准结果表明:所提出的3种计量特性校准方法是有效的,光谱共焦位移传感器计量特性满足使用要求,其中,激光干涉校准法精度最高且可靠.研究成果有助于提高彩色光谱共焦位移传感器校准效率和可靠性,并为大尺寸玻璃平面度的高精度测量提供坚实的技术支撑.