双面研磨Si3N4圆柱滚子表面质量研究

• 作者: 李颂华 严传振 孙健
• 来源期刊: 兵器材料科学与工程
• 关键词: 双面研磨 Si3N4圆柱滚子 表面粗糙度 表面质量
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 23-28
• 页数: 6页
• 分类号: TG580
• 语种: 中文
• DOI: 10.14024/j.cnki.1004-244x.20210628.001

摘要

为实现Si3N4圆柱滚子表面的精密加工,探究不同研磨工艺参数对试件表面粗糙度的影响规律.用双平面研磨进行单因子试验,通过粗糙度检测仪、扫描电镜对试件表面粗糙度、表面形貌进行分析.使用W5金刚石磨料、质量分数为3％的研磨液、研磨时间为30 min时,试件表面粗糙度为0.0433μm;而研磨速度为15 r/min时,表面粗糙度最小,为0.0359μm.双平面研磨中磨料粒度越小,试件表面粗糙度越低;研磨液的浓度、研磨时间、研磨速度对试件表面粗糙度的影响先减后增,合理采用研磨工艺参数,可得到高质量Si3N4圆柱滚子.