铜微纳结构的激光直写及其应用研究进展

• 作者: 周兴汶 廖嘉宁 姚煜 康慧 郭伟 彭鹏
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光制造 激光材料加工 纳米材料 纳连接 柔性电极
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 课题二 激光制备纳米材料/结构及其用于低温连接的技术与装备及应用|Task 2 Laser Fabricating Technology and Equipment of Nanomaterials and Nanostructures and Their Applications in Low Temperatu
• 页码范围: 135-147
• 页数: 13页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0802012

摘要

电性能优良且成本低廉的铜微纳结构在柔性电子领域中展现出广阔的应用前景.激光直写因其快速灵活且可控性高等优势,成为铜微纳结构的高效加工方法之一.概述了微纳结构激光加工的技术特点,随后针对激光直写铜微纳结构展开论述.重点分析了前驱体成分及激光工艺参数对铜微/纳观结构及电性能的影响,探讨了激光直写在铜微纳结构可控制备中的优势.列举了所得结构在柔性电子器件制造中的典型应用场景,分析了典型器件的工作机理.此外,对激光直写微纳结构的未来发展趋势进行了展望.