碳化硅智能制造系统综述

• 作者: 于凯 王利杰 刘金鑫
• 来源期刊: 自动化应用
• 关键词: 碳化硅 智能制造 数据监控 模拟仿真 自适应控制
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 自动化控制理论与应用
• 页码范围: 13-16,19
• 页数: 5页
• 分类号: TP23
• 语种: 中文
• DOI: 10.19769/j.zdhy.2021.03.005

摘要

国内高纯半绝缘碳化硅单晶未能实现工程化的原因,在于生产效率和产品的一致性较差,因此提出了建立碳化硅智能制造平台这一解决途径,以提高晶体生产效率和产品的一致性为目标,以数据监控等为基础,建立基于模型的仿真方法,采用生长过程仿真分析、制造过程监控和工艺参数自适应控制,来提高碳化硅单晶生长过程的智能化控制水平,进而推进高纯半绝缘碳化硅单晶片的产业化进程.