超快激光在无源光波导器件制造中的应用综述

• 作者: 丁烨 李强 李靖怡 王联甫 杨立军
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光技术 超快激光 无源光波导器件 制备工艺 器件性能
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 课题三 三维跨尺度纳米操作和激光可控纳米连接的工艺技术与装备及应用|Task 3 Processing Technology , Equipment and Applications of Three-Dimensional Trans-Scale Nano Manipulation and Controllable
• 页码范围: 220-233
• 页数: 14页
• 分类号: TN249|TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0802020

摘要

我国航空、航天等领域的发展推动着全光通信、光信息处理等技术的不断革新.光波导器件作为关键一环,其制备工艺对性能的影响至关重要.超快激光作为一种新型的激光光源,具有极高的能量密度和极短的脉宽,这些特性使得超快激光加工后几乎无热影响区、重铸层等缺陷残留.将超快激光用于制备光波导器件已成为工业界研究的热门领域之一.本文首先阐述了超快激光与常用波导材料的微观作用机理.针对国内外学者利用超快激光制备无源光波导器件的相关研究进行系统综述,详细阐述了光路变换器、功率分配器和波导型透镜等典型无源光波导器件的超快激光制备方法和器件性能;结合当前研究进展和面临的主要问题的分析,对未来超快激光制备无源光波导器件技术的发展方向进行展望.