双层微梁结构谐振器中波动温度场的研究

• 作者: 左万里 刘璇 杨孙法子
• 来源期刊: 传感技术学报
• 关键词: 谐振器 微梁 双层结构 波动温度场
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理|Signal Processing for Sensors
• 页码范围: 635-641
• 页数: 7页
• 分类号: TM38
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2021.05.012

摘要

针对两端固定双层微梁结构谐振器,利用格林函数,求解了一维热传导时梁中的波动温度场分布函数.通过解析模型计算结果与有限元数值模型计算结果的比较,验证了所得解析模型的有效性,并讨论两种模型的优缺点.研究结果表明:波动温度的幅值仅为平衡温度的0.06％左右,由于波动温度场产生的热应变也非常小;激振频率对波动温度场的影响非常大;微梁的总长度与材料比对温度场也有影响.