多层导电结构缺陷位置和尺寸的无损估计方法研究

• 作者: 周莹 金合丽 陈友荣 刘半藤 任条娟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 关键词: 无损估计 数据处理 多层导电结构 缺陷位置和尺寸 脉冲涡流检测
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理|Signal Processing for Sensors
• 页码范围: 642-649
• 页数: 8页
• 分类号: TP391
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2021.05.013

摘要

针对多层导电结构缺陷位置和尺寸的识别问题,基于脉冲涡流检测数据,提出一种多层导电结构缺陷位置和尺寸的无损估计方法(NEM).NEM采用傅里叶变换和希尔伯特黄变换等方法,提取时域和频域上共47维特征.提出基于AIC+Fisher的特征降维方法,选择最优的特征降维维度,减少特征冗余且降维后的特征能更好表征缺陷类型,提高分类器的识别效率.最后利用支持向量机(SVM)构造分类器,采用粒子群算法对分类器模型参数进行寻优,从而实现多层导电结构缺陷位置和尺寸的识别.实验结果表明:NEM能够适用于多层导电结构的缺陷位置识别和缺陷尺寸识别,提高了识别的查全率和查准率,降低了缺陷尺寸识别的平均误差值,优于SVM47、AF_F、Fisher47和AF_R等方法.