大视场马赫-曾德尔空间相移双成像系统

• 作者: 孙方圆 吴双乐 谢昊天 闫佩正 赵琪涵 王永红
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 测量 马赫-曾德尔 空间相移 大视场 载波独立调节 散斑 干涉
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 测量与计量|Measurement and Metrology
• 页码范围: 75-82
• 页数: 8页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0704001

摘要

在基于马赫-曾德尔剪切散斑的干涉双成像系统中,剪切量的大小方向与空间载波大小方向可独立调节.系统在一个较小剪切量下有较大空间载波,检测质量较高.在传统马赫-曾德尔双成像系统中,相机的成像透镜放置在剪切系统后部,测量视场受剪切系统中第一块分光棱镜尺寸的限制,视场较小,效率较低.针对该问题,介绍了一种改进的空间相移马赫-曾德尔双成像系统.该系统将成像透镜放置在马赫-曾德尔剪切系统的前部,保留了双成像系统原有的剪切量与载波独立调节的优势,同时扩大了视场,提高了检测效率.对内含缺陷的被测物进行测量,证明了系统可用于缺陷检测.实验证明了可以通过更换成像透镜来改变该系统的视场,并与传统马赫-曾德尔双成像系统进行了对比,结果显示所提系统的视场较大.