基于电校准的激光功率计响应非线性测量技术研究

• 作者: 徐涛 赵亚如
• 来源期刊: 计量科学与技术
• 关键词: 激光功率计 响应非线性 电校准 热电堆传感器 陶瓷加热器
• 年，卷（期）: 2021,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与校准方法研究
• 页码范围: 29-34
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0169

摘要

响应非线性是热电型激光功率探测器的主要特性,表现为不同功率下探测器响应度的变化,对测量准确度具有重要影响.本文基于电校准方法,针对瓦级至百瓦级激光功率探测器的响应非线性测量技术展开研究.设计并建立了电校准装置,实现了不同功率下电校准响应度的自动测量.与常用的稳压或稳流模式不同,该装置具有稳功率输出模式,对于温度系数较大的电校准加热器可显著提高加载功率的稳定性.在研究中基于两种陶瓷加热器制备了 2台电校准激光功率探测器,开展了电校准响应非线性测试.结果显示,对于具有较大温度系数的MCH陶瓷加热器,稳功率模式下加载功率不稳定度达到0.025％,远低于稳压模式下的2.0％.得益于较高的功率稳定性和测量过程的自动化,0.49～189 W功率范围电校准响应度的测量不确定度优于0.10％,提高了电校准响应非线性测量的准确度.