氧化铝陶瓷表面连续导电金膜的制备工艺及性能

• 作者: 刘炘城 邵海成 乔冠军 陆浩杰 于刘旭 张相召 刘桂武
• 来源期刊: 材料导报
• 关键词: 磁控溅射 丝网印刷 Au膜 导电性
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 金属与金属基复合材料|METALS AND METAL MATRIX COMPOSITES
• 页码范围: 76-81
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/cldb.20010151

摘要

以Al2 O3陶瓷作为基底,采用磁控溅射和丝网印刷两种工艺在其表面制备导电Au膜,并通过控制变量法制备不同参数下不同厚度的Au膜,对两种制备工艺进行了系统性的深入研究.通过高精度电阻测量仪、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)分析热处理前后Au膜的导电性能及微观形貌,采用激光共聚焦显微镜(CLSM)表征Au膜表面的粗糙度.结果表明:磁控溅射制备的纳米Au膜的导电膜厚阈值为30 nm,膜层对基底面粗糙度改变较小.对纳米Au膜进行600℃热处理后,Au发生固态润湿,导致电阻值急剧增大,导电性能下降.借助丝网印刷工艺,采用40％(质量分数)的金浆和200目丝网即可印刷得到导电性良好的Au膜,该工艺能够有效节约成本和金浆.