大口径反射镜表面颗粒物洁净度控制实验研究

• 作者: 牛龙飞 蒋一岚 苗心向 姚彩珍 吕海兵 周国瑞
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径反射镜 颗粒污染物 洁净度 风刀吹扫
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学|Lasers & Laser optics
• 页码范围: 236-242
• 页数: 7页
• 分类号: TG580.23+3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/IRLA20210117

摘要

针对高功率固体激光装置反射镜表面的颗粒引起的损伤问题,分别进行离线实验和在线实验,采用风刀及暗场成像系统相结合研究表面颗粒去除率.研究结果表明:当风刀偏转角度为0°且风刀距离大口径反射镜镜面10mm时,对灰尘颗粒的去除效果最好,可达96.5％,而对相同尺寸的Al2O3颗粒和Fe颗粒效果次之,对SiO2颗粒效果最差,在线平均去除率可达84.9％.通过对反射镜表面颗粒污染物的在线沉积规律研究表明采用风刀吹扫技术一周洁净一次可实现反射镜表面长期洁净,该技术可推广至大口径高能激光装置及未来超大型高功率激光装置中.