基于光栅辅助微环结构的高斜率Fano谐振器

• 作者: 廖莎莎 包航 张甜甜 黄琮 冯玉婷 刘继伟
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 Fano谐振器 集成光学器件 微环谐振器 光栅 硅光子学
• 年，卷（期）: 2021,（22）
• 所属期刊栏目: 集成光学|Integrated Optics
• 页码范围: 115-122
• 页数: 8页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202141.2213001

摘要

在集成光学回路中,相较于对称的洛伦兹线型,非对称的Fano谐振线型能实现光传输强度的急剧改变,从而有效提升光开关、调制器和传感器的灵敏度.提出了一种基于光栅辅助微环结构的Fano谐振器.该谐振器采用绝缘体上硅材料,通过在跑道微环内加入两组波导光栅结构实现Fano谐振.基于传输矩阵理论,推导了该谐振器的传输谱线,并分析了器件中不同结构参数对Fano谱线谐振峰位置、凹陷深度和斜率的影响,实现了最高斜率为-299.67 dB/nm、凹陷深度为9 dB、损耗为6.4 dB的Fano谐振谱线.该Fano谐振器具有斜率高、尺寸小、制造简单等优势,能广泛应用于光开关、光传感和光探测等领域.