物理气相沉积镀膜机器关键零部件设计与分析

• 作者: 冷长志
• 来源期刊: 内燃机与配件
• 关键词: 物理气相沉积 镀膜机器 关键零部件
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 制造工艺
• 页码范围: 94-95
• 页数: 2页
• 分类号: TH122.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-957X.2021.05.043

摘要

由于各种难加工材料和日益严峻的加工条件,近几十年来,物理气相沉积涂层技术越来越受到人们的重视.结合物理气相沉积技术的工业应用现状,从物理气相沉积涂层设备的角度综述了物理气相沉积涂层刀具的主要技术,包括阴极电弧蒸发技术和磁控溅射技术及其混合技术,并介绍了影响涂层附着强度的等离子体刻蚀技术.