虚拟仿真在半导体加工技术光刻实验中的应用

• 作者: 马刘红 李梦珂 钟英辉 段智勇
• 来源期刊: 当代教育实践与教学研究（电子刊）
• 关键词: 虚拟仿真 光刻 实验教学
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 教学实践探索
• 页码范围: 219-220
• 页数: 2页
• 语种: 中文
• DOI: 10.12223/j.2095-6711.2021.02.091

摘要

半导体专业是工程应用型学科,着重培养学生的实践能力,实验教学环节至关重要.由于实验成本及实验场地的局限性,半导体加工技术实验难以线下开展.长期以来,课程理论与实践难以结合,学生缺乏学习主动性,不利于工程型人才的培养.因此,郑州大学物理学院(微电子学院)建设了"MEMS制造光刻实验虚拟仿真教学"平台并引入实验教学,通过构建逼真的光刻实验环境和实验设备,达到与真实实验一致的学习体验.新的实验教学方法通过有效融合理论知识学习、实验步骤操作、学习效果考核、线下学习等环节,建立了完善的跟踪反馈机制,可有效激发学生自主学习兴趣.