TFT-LCD洁净间温湿度测试仪器假设检验和回归分析机差解决方案

• 作者: 孟雨 刘子源 张杰 林敏 向红伟 金瑞 苏昊文 匡磊 张壮
• 来源期刊: 电子世界
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 110-113
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

温湿度是TFT-LCD生产过程中洁净间的重要环境特性,温湿度的异常波动可能会导致TFT-LCD生产所需原材吸湿腐蚀或产生ESD相关不良.因此,合理地使用温湿度测试仪对洁净间的温湿度进行监控是十分重要的管控措施.本文以在日常监控过程中发现A温湿度测试仪与B温湿度测试仪实测数据存在机差的为例,通过假设检验与回归分析等统计学方法解决仪器机差问题,为其他TFT-LCD环境测试仪器机差问题提供了解决方法与分析思路.