湿法刻蚀制备铌酸锂锥形脊波导

• 作者: 谷珍杰 温旭杰 张维佳 华平壤 饶前程 黄颖
• 来源期刊: 天津科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 质子交换 铌酸锂 锥形结构 湿法刻蚀 脊波导
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 数理科学与化学|Mathematics,Physics and Chemistry
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.13364/j.issn.1672-6510.20210175

摘要

采用由质子交换辅助湿法刻蚀技术,在Z切铌酸锂晶体上成功制备锥形脊波导.该波导脊高为1.2μm、脊宽从4μm增大至8μm,插入损耗4.4 dB.波导表面光滑,表面粗糙度为0.84 nm,没有出现塌边或横向刻蚀的现象.波导宽度从4μm增大至8μm,模式尺寸在水平方向上从4.3μm增大至6.8μm,在垂直方向上从3.2μm增大至5.6μm.当波导宽度增大时模场尺寸也增大,实现小模场与大模场之间的转换.