一种基于双目结构光的光学元件精磨表面面形测量方法

• 作者: 雷冲 刘元坤
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 三维测量 双目视觉 光学加工 精磨 三频相位展开
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量|Opto-Electronic Measurement
• 页码范围: 14-20
• 页数: 7页
• 分类号: TP391.41
• 语种: 中文

摘要

光学加工过程中,粗磨与精磨阶段材料去除量最大,而抛光阶段的材料去除量则小很多,因此若对粗精磨表面进行精确全场测量将极大缩短加工过程.在现有测量手段中,三坐标机和红外干涉仪存在价格昂贵或效率不高问题.将光学三维传感方法中的双目结构光技术用于光学加工过程,实现了对光学元件粗精磨表面的无接触、全场、快速高精度测量.实验结果表明所提方法切实可行,测量误差小于10 μm,对加工过程中切削加工量的快速精确测量具有应用价值.