射频激励扩散冷却板条CO2激光器技术发展

• 作者: 罗琪卉 汪于涛 王丽 朱小磊
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 板条CO2激光器 射频激励 扩散冷却 高功率
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 页码范围: 108-116
• 页数: 9页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.14128/j.cnki.al.20224201.108

摘要

扩散冷却、射频激励的板条结构CO2激光器具有效率高、体积小和光束质量好的优势,在激光精密退火、工业加工等应用领域越来越被重视.高功率射频激励、扩散冷却板条CO2激光器在千瓦级及以上的CO2激光精密加工及微电子装备中占有重要地位,已成为高功率、高光束质量连续CO2激光器的主流发展方向.就CO2激光器技术发展,重点围绕射频驱动板条结构高功率CO2激光器技术的国内外研究动态进行了调研,梳理了技术发展阶段及应用情况,并对技术发展趋势进行了展望.