扫描电镜中X射线能谱仪的技术进展

• 作者: 高尚 黄梦诗 杨振英 马清
• 来源期刊: 分析科学学报
• 学科: 化学
• 关键词: X射线能谱仪 硅漂移探测器 锂漂移硅探测器 低加速电压 多元成分分析
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与评论|Survey & Review
• 页码范围: 115-121
• 页数: 7页
• 分类号: O657
• 语种: 中文
• DOI: 10.13526/j.issn.1006-6144.2022.01.021

摘要

能谱仪作为扫描电镜进行成分分析的重要附件,已经得到非常广泛的应用.随着半导体技术和应用领域的拓展,近年来在能谱探测器上取得的技术进展令人鼓舞.这些进展包括硅漂移探测器的普及,大面积探测器、平插设置以及对窗口材料的改进等.本文介绍了能谱探测器的基本结构,总结了硅漂移探测器的技术进展和性能优势,以及低加速电压能谱探测技术的进展和算法在能谱技术中的应用.