碲镉汞红外探测器电极接触研究

• 作者: 何斌 刘明 宁提 陈书真 祁娇娇
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 离子束沉积 电极接触 热处理
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 红外材料与器件|Infrared Material & Device
• 页码范围: 71-75
• 页数: 5页
• 分类号: TN213
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2022.01.012

摘要

金属/碲镉汞电极接触是红外焦平面探测器的重要组成部分,对器件的性能与稳定性影响较大.然而在碲镉汞金属化过程中,金属离子能量较高将有可能对碲镉汞表面造成损伤.本文采用了离子束沉积系统生长金属电极,探究了束流、束压以及热处理等条件对碲镉汞红外探测器接触性能的影响.研究表明,碲镉汞在生长电极后表面会受到一定程度的损伤;随着离子能量的升高,对材料表面损伤加剧.在I-V曲线中,电极沉积损伤较大的器件表现出软击穿现象;在热处理后,在一定程度上可以修复电极沉积时能量过大造成的损伤,提高了电极接触性能.