微波器件中绝缘膜的质量提升及工艺技术研究

• 作者: 张宇 李琳 李枘 王宇 马晓琳
• 来源期刊: 电子质量
• 学科: 工学
• 关键词: 微波器件 绝缘膜 工艺 质量
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: 绿色质量与管理|Green Quality & Management
• 页码范围: 93-96
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2022.04.026

摘要

当前,随着军工产品逐渐向小型化、集成化的方向发展,微波器件的用量越来越大.由于微波器件自身工艺的特殊性,返修性较差,一旦出现质量问题,会导致内部精密器件报废,从而增加产品的制造成本与周期.该文主要针对微波器件中绝缘膜的质量提升进行研究,通过分析现有加工过程并找出问题根源,随后对比多种工艺提升方案并找出最优加工方案的方法,找出了导致短路现象的金属毛刺产生的根源,最终改进了工艺过程,提升了产品质量,并总结了相关经验.