基于小孔点衍射的超精面形瞬态干涉测量技术

• 作者: 张金鹏 高芬 李兵
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 面形检测 点衍射干涉仪 同步相移 瞬态检测
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学|Instrumentation, Measurement and Metrology
• 页码范围: 248-255
• 页数: 8页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20225104.0412004

摘要

为解决时域相移小孔点衍射干涉仪中移相依赖昂贵压电陶瓷相移器,且长时间采集易受环境干扰影响的问题,提出一种基于偏振同步相移的小孔点衍射瞬态干涉检测方法.构建反射式结构的小孔点衍射干涉测量光路得到两束正交的圆偏振光,利用棋盘位相光栅分光与偏振片阵列移相,在CCD上同时获得4幅不同相移量的干涉图像,对单次采集的4幅瞬时干涉图像进行处理即可直接获得被测面形信息.搭建实际测量系统,通过基于琼斯矩阵的偏振态分析及与ZYGO干涉仪的比对实验,从理论及实验两方面验证了所提方法的正确性,多次多组实验结果表明该系统稳定,有着良好的重复测量精度.