F-P标准具多光束干涉成像实现微小角度自校准测量

• 作者: 周世南 沈小燕 李东升 吴晨光
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微小角度测量 自校准 F-P标准具 小数重合法 不确定度
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学|Instrumentation, Measurement and Metrology
• 页码范围: 275-284
• 页数: 10页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20225104.0412007

摘要

利用干涉级次小数部分计算得到成像物镜相对焦距值,结合微小角度引起的相对位移值,实现微小角度测量的自校准.仿真计算了小数重合法的算法误差及温湿度误差,并实现了F-P间隔计算结果的修正,设计了可自校准的微小角度测量实验装置,通过测量实验得到了间隔修正前后成像物镜焦距值及微小角度测量结果.实验结果表明:在当前实验条件下,经修正后的焦距测量相对扩展不确定度从0.014减小到0.007,600″测量范围内的角度测量不确定度从0.132″减小到0.084″,微小角度测量的准确度得到有效提升.