浅析某微电子产业园制造厂房超纯水处理系统案例

• 作者: 张泽超
• 来源期刊: 上海节能
• 关键词: 纯水系统 RO反渗透 UF超滤 EDI除盐 系统调试
• 年，卷（期）: 2023,（2）
• 所属期刊栏目: 节能工程与经济
• 页码范围: 217-221
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13770/j.cnki.issn2095-705x.2023.02.016

摘要

随着科技的进步，半导体芯片制造业得以快速发展，但由于其制造工艺的精密性和复杂性，对工艺中所用水质要求极高。以青岛微电子产业园制造厂房为例，介绍了一种超纯水制造工艺，并对现状提出了维护措施和成本分析。经实际运行测试，该系统制备的超纯水稳定优质，节水节能效率高，保障了工艺生产所需，为同类型工业厂房纯水系统提供了参考。