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四川真空
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主办单位：
四川省真空学会
国投南光有限公司
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出版周期：
半年刊
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610062
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刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要： 涡轮分子泵实质上是为抽稀萍气体而设计的轴流压缩机。最早的开拓者或多或少继承了轴流压缩机的传统分级排列，当时，对交替排列的动，定叶列间的分子轨迹曾用模拟数学计算法予以确证。现代开展的泵大都为组...
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2. 用溅射离子泵轴氦刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要： 本文中给出了惰性气体和传统型的二极型和三极型泵的氦抽速和抽气量的大量数据。报导了抽氦之后各种不同泵再生程序的有效性，包括烘烤和Ｎ２辉光放电清洗特性。本文还报导了随后抽Ｎ２时氦的比较解吸情况。...
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3. 用溅离子泵抽氢刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要： 本篇文章讨论了二极型和三极型离子泵抽氢的情况。并说明这些泵中所用的阴极材料类型对抽氢效率有重大影响。所举之例包括了有铝，钛和钛合金阴极材料泵的数据。数据表明的铝阴极二极型泵抽氢并不比抽氦更有...
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4. 表面科学技术刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要：
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5. 真空镀膜系统的程序控制刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要：
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刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要： 通过将Ｃｒ金属电镀到一根发针形Ｗ丝的尖端，来制造一种简单结实的Ｃｒ蒸发器。离蒸发器５ｃｍ下，可获得高达１０ｎｍｍｉｎ＾－１的沉积速率，总沉积厚度超过４００ｎｍ。对沉积在超高真空的薄膜进行俄歇...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要：
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刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要： 本文报导了一种用于低压薄膜溅射的，带直径为６０ｍｍ靶子的小尺寸平面磁控管。如果在靶子上方安置一个永久磁铁组件，即可改进靶表面附近的等离子体限制，从而维持稳定的放电。试验表明：永久磁铁的极性对...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要： 近十几年来，各类制瓶机的生产速度几乎翻了一番，现在可达到的生产效率为６００瓶／分。这样，一个随之必须解决的问题是：改进热端传送系统，特别是用于当前生产的轻重量玻瓶的传送系统。
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10. 为工业加热设计更好机器的方法刊名： 四川真空发表期刊： 1995年4期页码:摘要：
四川真空基本信息
| 刊名 | 四川真空 | 主编 | |
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| 主办单位 | 四川省真空学会 国投南光有限公司 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 半年刊 | 语种 | |
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| 邮编 | 610062 | 电子邮箱 | |
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